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INFICON MPS 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪

具体成交价以合同协议为准

2023-06-12
型号
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膜厚计
产品简介
INFICON MPS 残余气体分析仪 Transpector MPS 残余气体分析仪气体分析标准为一般真空应用带来性能和非凡价值随着制造技术的进步和质量标准的变更,了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector MPS 能够通过......
详细信息

功能

  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
  • 可调换传感器和电子元件
  • TCP/IP 以太网连接
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • 模拟扫描和所选峰值的 3 ms 每点数据率
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型MPS100FMPS100MMPS200FMPS200M
传感器长度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
检测器类型FC EM FC EM
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
最小可检测分压2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
传感器工作温度(FC)200 °C NA 200 °C NA
传感器工作温度(EM)NA 150 °C NA 150 °C
丝极类型选件Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)<1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide
温度系数 (2)<1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C
每点数据率3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零冲击(位于质量 2)<100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm
工作压力5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤温度300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率输入20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 时长 8 小时,半小时预热时间;仅适用于 FC 模式

INFICON MPS 残余气体分析仪     
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