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功能
- 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 每点数据率
- TCP/IP 以太网连接
- 双丝极
- 可现场更换电子倍增器
- 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
- 较短的传感器可降低安装占地面积
- 九个数量级的动态量程
- <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)
- 信噪比更高
- 可调换传感器和电子元件
- 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
- 符合 RoHS 标准
参考价：
-
- 面议
INFICON MPH 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪
具体成交价以合同协议为准
2023-06-10
- 型号
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产品简介
INFICON MPH 残余气体分析仪 Transpector MPH 残余气体分析仪监控您的过程的性能有助于提高产量并实现最长运行时间持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Tr......
详细信息
规格
| 类型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 检测器类型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 灵敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| 最小可检测分压 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| 传感器工作温度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| 传感器工作温度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 丝极类型选件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 丝极类型选件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整个质量范围内） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 温度系数 | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |||||
INFICON MPH 残余气体分析仪
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