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INFICON XTC/3膜厚仪 氦质谱检漏仪

具体成交价以合同协议为准

2023-06-10
型号
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膜厚计
产品简介
INFICON XTC/3膜厚仪 XTC/3 薄膜沉积控制器技术*,经济实惠,可对单层或多层薄膜进行速率控制立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精确地控制沉......
详细信息

功能

  • 提供有单层和多层型号
  • ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
  • 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换,从而生产力
  • XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
  • XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
  • 可以为薄膜和过程分配的描述性名称,以便于检索
  • 提供以太网连接
  • 独立式(不需要计算机)或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型应用

  • 光学镀膜

新闻

XTC/3 前面板已根据 INFICON
公司的新标准进行重新设计。

规格

类型XTC3/SXTC3/M
频率分辨率±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期0.25 seconds 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1)±0.034 Å ±0.034 Å
测量技术ModeLock ModeLock
过程数量1 99
层数1 999
材料计划(或薄膜)数量9 32
传感器输入数量2 2
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持Yes Yes
支持 XTAL 2 开关Yes Yes
来源输出数量2 2
计算机通信RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
RS232 波特率115.2 KBaud 115.2 KBaud
自动晶体转换Yes Yes
继电器数量12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
可编程继电器功能数量1 1
每个继电器的功能1 1
继电器额定电压30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
记录器输出数量1 1
手动电源 / 手持控制器Yes Yes
排气管风扇No Exhaust Fan No Exhaust Fan
测试模式Yes Yes
闸门延迟Yes Yes
二次成型模具Yes Yes
外壳尺寸half rack, 2U high half rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
INFICON XTC/3膜厚仪     
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