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FPIST-GISM EUV等离子体光谱仪 光学成像系统

具体成交价以合同协议为准

2023-06-08
型号
FPIST-GISM
孚光精仪(中国)有限公司

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光谱仪
产品简介
EUV等离子体光谱仪是专业为光谱范围高达40nm的EUV等离子体特性测量而开发的VUV光谱仪,非常适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪
详细信息
EUV等离子体光谱仪是专业为光谱范围高达40nmEUV等离子体特性测量而开发的VUV光谱仪,非常适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪
EUV等离子体光谱仪特点

-单色仪和光谱仪模式
-恒定偏转角
-光栅精密旋转的波长扫描
千分尺驱动进出口狭缝组件;

EUV等离子体光谱仪规格
入射角:φ=85°
衍射角:φ=81°
恒定偏差角:φ=φ±ψ=166°
光谱范围:442.5nm
可更换衍射光栅:1200600300 G/mm
光谱仪长度:250mm
20μm入口狭缝的光谱范围、色散和光谱分辨率(默认):
光栅,G/mm 光谱范围,nm 色散,nm/mm 分辨率,nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
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