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微小流量计
应用行业:
微小流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气等清洁气体的流量,主要应用于半导体、电子、化工、医药、食品等产品制造过程中气体流量的检测及控制,医院氧气消耗量计量、实验室气体流量的检测等,口径*小至1mm,螺纹连接。
主要特点:
1、 采用微机电系统芯片作为传感器,流量计的灵敏度*同时具有良好的零点稳定性;
2、 单个芯片上实现多传感器集成,使该流量计的量程比大于100:1;
3、 和传统的机械式流量计比较,压力损失大幅减小,极大的降低了能源消耗;
4、 采用LCD显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便;
5、 本流量计带有RS-485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理;
6、 可以选配4-20mA DC电流信号输出;
7、 通过国家防爆认证,标志为ExiaIICT4。
| 测量范围 | 0.45-45Nm/s(流速) |
| 精 确 度 | ±(1.5+0.15FS)% |
| 环境温度 | -10-55℃ |
| 介质温度 | -20-65℃ |
| 湿 度 | ≤95%RH |
| 显 示 | 瞬时流量(0.000-999999.999)、累计流量(0..999) |
| 通信方式 | RS485 |
| 输出信号 | 4-20mA |
| 供电电源 | 8-24VDC |
| 连 接 | NPT-F |
| 校准条件 | 氮气,20℃,101.325kPa;可根据用户要求进行实际介质标定 |
| 通径 (mm) | 接口 尺寸 | 工作压力 (MPa) | 流量范围 | 备注 | |||
| SCCM | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
| 3.0 | 1/8〞 | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | | | |
| 6.0 | 1/4〞 | 3.0 | | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
| 8.0 | 3/8〞 | 3.0 | | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
| 12.0 | 1/2〞 | 3.0 | | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
| 19.0 | 3/4〞 | 3.0 | | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 | |