天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国Cyber Technologies厚度测量仪-CT系列
产品型号：CT 350T
德国Cyber Technologies厚度测量仪-CT系列
关键字描述：运动系统使用快速，准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器，可以将检查时间更小化。
产品介绍：
快速准确的双面扫描系统
测量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移动300 mm（200 mm），横向分辨率为50 nm，电动z轴分辨率为20 nm
2D轮廓，3D地形图和3D厚度图
扫描范围大
x，y，z分辨率，行程为max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光传感器
高分辨率离轴相机
CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪，具有300毫米x，y扫描台。顶部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x，y编码器信号同步的高度数据，并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从顶部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图，并计算相应的总厚度轮廓或贴图。
运动系统使用快速，准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器，可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板，该系统可以用作标准光学表面轮廓仪，使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。
参数：
集成系统控制器：包括运动控制，传感器控制器（4 kHz），电源，工作站的USB接口
工作站电脑：查询当前规格，22英寸宽屏显示器
连接方式：以太网，DVD驱动器，USB（正面和背面），并行端口，键盘，鼠标，DVI和模拟视频输出
电源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
测量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
线性编码器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
横向分辨率：1微米（载物台分辨率：50 nm）
X和Y的行程限制（电动）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
一次次的跨越式发展使天津瑞利光电逐步积累了在工控自动化领域关于货源渠道、价格、货期、服务等各方面的巨大优势，从而奠定了行业的引导地位。通过多年的发展，在国内我们也与多家设计院、科研院所及集成商建立了良好的项目合作关系。

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