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MPS-10X型多功能型探针台
具体成交价以合同协议为准
2024-05-16北京市
- 型号
垂直度检测仪，水平仪零位检定器，小角度检查仪，水平仪零位检定器，直角尺检查仪，光栅式指示表检定仪，介电测量系统，压电测量系统，铁电测量系统 矿石分析仪│元素分析仪│牛津仪器│X荧光光谱仪
产品简介
MPS-10X型多功能型探针台是我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
详细信息
MPS-10X型多功能型探针台
产品简介 ：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
主要技术指标：
结构紧凑，功能实用，价格实惠
大可用于12寸以内样品测试
兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降
漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
1微米以上电极/PAD使用
模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
技术参数选型：
规格/参数 | |||||||
型号 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧 | ||||||
移动精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm） | ||||||
漏电精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
安装方式 | 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（大可升级到720倍） | |||||
CCD像素 | 500W（可升级200W） | ||||||
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | ||||||
显示器 | 8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | |||||
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