NMC ICP反应离子刻蚀机（用于介质薄膜）

产品简介

反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀，包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等。

技术参数

1.气体种类：O₂、CF₄、CHF₃、SF₆、BCl₃等

2.基片尺寸：zui大支持8英寸，并向下兼容6、5、4、3、2英寸等以及破片

3.射频电源     ICP电源：13.56MHz，1400W; 偏压电源：13.56MHz，800W

4.工艺温度：10℃到80℃可控

5.传送模式：自动Loadlock传送系统

公司主要研发、制造和销售的检测仪器有：电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\\反射炉\\气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶\\绝缘子行业测试设备、PCB\\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等，可接定制仪器订单。

       华测仪器公司专注于新材料电性能检测以及电气自动化设备研发与制造，坚持以用户为中心，基于用户需求持续创新，赢得了用户的尊重和信赖。如今，我们的检测、检验设备、工业自动化设备、智能装备仪器以及数据采集平台已应用于*、中航工业、西门子、ABB、GE、中科院所等国家新材料产业及材料科研单位; 同时与中国电科院检测中心、西高所、武高所、华测检测、美信检测、广电计量、科标检测等国内十多家检测、计量机构合作。 

      作为材料电学检测品牌，华测仪器从仪器生产、防护、数据采集、通讯网络实现到云管理系统为用户提供有竞争力的系统级方案与服务，帮助用户在新材料研发与检测获得成功。我们坚持聚焦战略，对新材料检测仪器、智能装备、高精度数据采集、系统集成和嵌入式控制领域持续进行研发投入，以用户需求和前沿技术驱动创新，使公司始终处于行业前沿。我们每年将销售收入的30%以上投入研发，在近70名的团队中，32%以上的员工从事创新、研究与开发。

      我们深信未来将是一个更加智慧的世界，华测公司与合作伙伴一起，努力研发检测系统工业自动化设备，从而推动中国新材料时代发展的进程。