MEGATORR阀门压力控制器AP-420

MEGATORR阀门压力控制器AP-420

压力控制器AP-420

AP系列是电容计量器（压力真空计）和槽阀组合使用的压力控制器。可以从自适应/PID/混合动力3种类型中选择控制方式，确保半导体/FPD/太阳能电池等制造装置所要求的高速应答、高再现性的真空压力控制。也可以通过前面板进行设定，操作性非常容易。另外，由于CE标志、RoHS对应产品，被世界上所有产业的量产设备所使用

压力控制器AP-100R

Model AP-100R将制造装置中的真空室进行真空排气时，通过改变阀门电导，作为控制真空排气速度的下游压力控制装置使用。

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