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ALICAT 耐腐蚀质量流量控制器
美国ALICAT 耐腐蚀抗腐蚀型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的耐腐蚀系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度,适用于多种流量测控场合。