昆山国华真空等离子清洗机的气路控制

1 真空等离子清洗机气路控制部分的主要组件

1-1 气体调压及处理组件

真空等离子清洗机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体，所以气体调压及处理组件基本结构多为调压阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在所需压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质，以保证后端流量计等组件的运行稳定性和气体洁净度。目前真空等离子清洗机的常用的气体调压及处理组件按结构特点分为组合式和一体式两种。

1-2 带报警输出的减压表

为实时监控等离子清洗机的气体压力是否符合工作要求，在气体调压阀上都会安装带报警输出功能的压力表，在压力过低时输出报警信号，以保证设备和正常运行及工艺气体的稳定。带报警输出的减压表分为指针式和数显示两种。

1-3 真空电磁阀

真空等离子清洗机在工作时需维持工艺要求的真空度及真空腔体的密封，因此其连接腔体的各气路阀门必须满足真空密封要求，我们应该选择相匹配的带气路控制的真空电磁阀。真空等离子清洗机为保证运行稳定性，都是一个真空电磁阀控制一路气体，所选用的真空电磁阀都是两位两通式

1-4 流量计

真空等离子清洗机的进气量是由流量计所控制的，其原理是通过调节通入气体阀门的大小来实现通流量的控制，等离子清洗机使用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量控制器（MFC）两种。

气体浮子流量计是通过手动调整开启阀门的大小来实现气体流量控制，阀门开启后会受气体压力变化、震动等多因素影响而造成实际通入气体流量浮动范围大，不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。

质量控制器一般都是自动对工艺气体的质量流量进行精密测量和控制，保证等真空离子清洗机处理工艺的稳定；对于部分腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现精确控制。

2 真空等离子清洗机的气路控制布局及特点

2-1常用气路控制布局

①真空等离子清洗机常规气路通常包括两路工艺气体控制、一路破空气体控制、一路压缩空气（CDA）控制。

2-2 各气路组成部分及特点

①压缩空气控制部分只需气体高压、过滤器及带输出报警压力表整套组件，不需其他组件。因CDA为部分元件的动力气体，只需在气体压力不足时提供报警即可。

②破空气体部分是在CDA控制气路基础上增加一支大口径真空电磁阀，在工艺运行结束后为真空腔体提供破真空气体输入服务。因破真空气体通常为高洁净气体，所以部分破真空气路中没有安装过滤器。

③工艺气体通常为高洁净气体，过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出报警表、真空电磁阀和质量控制器。工艺气体通常配置两路，可根据要求配置多路。

昆山国华真空等离子清洗机的气路控制

3 真空等离子清洗机的气体各控制组件及进气顺序如下：

过滤器→调压阀（带报警压力输出表）→真空电磁阀→质量控制器