免费会员 生产厂家
参考价：
-
- 面议
C30 气体质量流量控制器，流量计-质量流量计
具体成交价以合同协议为准
2021-10-25北京市
产品简介
概要
C30经济型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制，性价比高，是同类产品中价格低的一款。
详细信息
C30经济型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制，性价比高，是同类产品中价格低的一款。
特点
国内同类产品价格低
稳定性和可靠性高
±0.2％F.S.的高重复精度
满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制
可应用于大多数腐蚀性气体
同类产品尺寸小
安装尺寸兼容
应用
真空镀膜设备
微反应装置
晶体制备设备
混气配气设备
燃烧测试设备
产品规格
流量规格(N2标定) 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定) 0～1,2,3,5,10 SLM
准确度 ±1.5％F.S.
调节阀类型 常闭式
线性 ±1.5％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤3sec
输入输出信号 0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)
电缆接头 DB15pin(针形)
工作环境温度 5～45℃
工作压差范围 0.1～0.5MPa (≤10SLM)
对外单点泄漏率 ≤1×10-8Pa·m3/S(He)
大耐压 3MPa
相关技术文章
