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AE质量流量控制器

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2019-07-27深圳市
型号
参数
产地:国产 加工定制:是
利方达科技有限公司

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产品简介
AE质量流量控制器
优点:高性价比

响应速度快:小于2秒

的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%

易于集成:标准接头和尺寸

出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性
详细信息

美国AE公司 AE质量流量控制器

优点:高性价比

响应速度快:小于2秒

的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%

易于集成:标准接头和尺寸

出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性

 

特性AE质量流量控制器

非金属密封

VCR连接

量程范围从10SCCM到150SLM

常闭或常开式电磁阀

允许大清洗流量:高达大校准值的100倍

漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

 

型号参数:

类别

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

满量程范围

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

响应时间

到达设定点±2%所需时间<2秒

到达设定点±2%所需时间<3秒

精度

满量程±1%范围内

满量程±2%范围内

线性度

满量程±0.5%范围内

满量程±0.5%范围内

满量程±1%范围内

满量程±1%范围内

重复精度

满量程±0.2%范围内

漏率

大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)

控制范围

满量程的5到

压差

7至40 psi

10至40 psi(517至2069托)

21至40 psi(1086至2069托)

(362至2069托)

14至40 psi(724至2069托)

正常工作压力

50 psi(2586托)

大入口压力

大值150 psi(7740托)

温度范围

5至45℃

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企业未开通此功能
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产品参数

产地 国产
加工定制
提示

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