系统构成

   本系统主要由以下部分组成：

   两组份动态配气系统

   计算机与操作软件（也可以用触摸屏，那就不需要配计算机和软件部分）

系统各部分组成如下：

   两组份动态配气系统

   该系统运用目前上*的测量和控制技术，设备稳定可靠，配制精度高。全自动化控制，操作简单可靠。设备集成在一个机箱内。外观简洁，美观。主要设备包括：质量流量控制器，单向阀，截止阀，气体混合管路等。由于存在甲烷，乙烷，乙烯，乙炔等易燃易爆危险性介质。配气系统设计气路和电路控制部分分开安装，同时在可能存在可燃性气体泄漏的地方安装风扇，通过风扇保证空气流通，防止可燃气聚集。保证系统和人员的安全。

   系统设计为两组份配气方式，其中一路为稀释气，其他一路为源气，气源采用标准瓶气。

   该系统配置2个美国*质量流量控制器，可实现2个组份气体混合配比。

   系统数据库内有多达四五十种气体，使用时通过计算机直接调取选择。 

   混合气体大流量：≈ 2 L/min。

   配气通道：2路

主要技术参数

  1.气体质量流量控制器（美国MFC）

  1）Range1：0～2000ml/min

    Range2：0～500ml/min

  2)精确度：±1%

  3)密封：Viton(耐高温氟素橡胶)

  4)响应时间：1…2seconds

  5)重复性：< ±0.2% Rd

  6)量程比：1:50（数字模式为：1:187.5）

  7)泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

  8)电源：＋15…24VDC@320mA

  9)使用温度：-10…70 ℃

  10)压力灵敏度：0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2

  11)温度灵敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃ 

  12)输出：4…20mA and RS-232

  2.气路

  整个系统气路均采用防腐防吸附的内表面抛光处理聚四氟乙烯管

  3.转子流量计

  方便使用,配制出来多余的气体可以通过调节转子流量计直接排出

  4.计算机及系统软件

  1)配气系统通过触摸屏操作。

  2)两组份配气软件

配气系统根据要求，可以设置钢瓶和对应的端口。并可以通过流量模式和浓度模式配气。通过软件自动计算，气体质量流量控制器自动调节控制气体流量，以实现气体配比浓度要求。