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Pa-HH AEROTECH精密气体减压器Pa-HH
具体成交价以合同协议为准
2019-04-12北京市
- 型号
- Pa-HH
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产品简介
Pα-HH精密气体减压器。单级膜片式设计；高压输入，高压中等流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量250L/min。
详细信息
Pα-HH精密气体减压器。单级膜片式设计；高压输入，高压中等流量输出，输出压力稳定；适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量250L/min。
工作条件：
| 进口压力 | 15MPa |
| 出口压力 | 0～12MPa |
| CV值 | 0.02 |
| 爆破压力 | 40MPa |
| 原压变动 | 0.007MPa （入口压力变化0.1MPa时，出口压力的变化量） |
| 温度 | -10～+70℃ |
| 外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
| 安装方式 | 后面板安装 |
产品特点：
柔性膜片结构，调节顺畅，流量损失小
单级式减压，死体积小，便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理，增加腐蚀性
内置精密过滤器，保证气体洁净
超纯水清洗
主要部件材料：
| 零部件名称 | Part | 材料（Materials） |
| 后盖 | Bonnet | SUS316 |
| 阀体 | Body | SUS316L |
| 阀针 | Poppet | SUS316L |
| 膜片 | Diaphragm | SUS316L |
| 密封垫 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |
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