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250/1600型复合质谱分子泵-柱后衍生装置
具体成交价以合同协议为准
2019-02-10上海市
- 型号
- 参数
- 产地:国产 加工定制:是
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产品简介
250/1600型复合质谱分子泵光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气
详细信息
250/1600型复合质谱分子泵技术参数表
250/1600型复合质谱分子泵技术参数表
型号 | 250/1600 | |
抽气速率（l/s） | 1600L/S | |
压缩比N2 | >109 | |
压缩比H2 | >8×104 | |
极限压强(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 |
高真空法兰 | LF250 | CF250 |
排气口法兰 | KF50 | |
启动加速时（min） | <7min | |
电机转速（n/min） | 24000n/min | |
小不平衡（mg） | 15mg | |
建议采用前级泵 | 机械泵15L/S | |
充油量（ml） | / | |
安装方式 | 垂直±5° | |
冷却方式 | 水冷或风冷 | |
冷却水温度 | <20℃ | |
环境使用温度（℃） | 风冷<32℃ 水冷<40℃ | |
泵体烘烤温度（℃） | <100℃ | |
泵重量（kg） | 40kg | |
外形尺寸（mm） | Φ340×427 | |
型号 | 250/1600 | |
抽气速率（l/s） | 1600L/S | |
压缩比N2 | >109 | |
压缩比H2 | >8×104 | |
极限压强(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 |
高真空法兰 | LF250 | CF250 |
排气口法兰 | KF50 | |
启动加速时（min） | <7min | |
电机转速（n/min） | 24000n/min | |
小不平衡（mg） | 15mg | |
建议采用前级泵 | 机械泵15L/S | |
充油量（ml） | / | |
安装方式 | 垂直±5° | |
冷却方式 | 水冷或风冷 | |
冷却水温度 | <20℃ | |
环境使用温度（℃） | 风冷<32℃ 水冷<40℃ | |
泵体烘烤温度（℃） | <100℃ | |
泵重量（kg） | 40kg | |
外形尺寸（mm） | Φ340×427 | |
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