专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用

大可处理8"晶圆，每次多可处理5个晶圆

标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

标配样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO₂用量，缩短干燥时间，提高干燥效率

LCD触控屏

可编程触屏控制界面，全自动控制

多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用

慢速充液功能，适用于各种易损样品

“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO₂

内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO₂，消除静电及吹扫噪音

外置两级过滤系统，可过滤LCO₂内0.08μm以上杂质

外置吹扫后过滤器，便于仪器维护

非机械式吹扫搅拌技术，免维护

内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性

精确参数控制，确保处理结果重复性

样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

无尘室防静电兼容设计

所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准