BROOKS SLA5850S型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头，该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

设计特性：

·易维护

·快速响应设定变化

·可忽略过冲/下冲影响

·可拆除传感器

·对安装方位不要求

·较大的流量控制范围（大可达30 sl/min N2）

·外置零点和量程调节电位器

·跳线可设定软启动

·可设定外部电磁阀控制

·不要求中止流量

·常闭阀（可选常开阀）

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蚀

操作原理

BROOKS流量控制器运用热动力学原理，一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热，在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

没有气流时，到达两个温度测量元件的热量是相等的：有气流时则气流带走热量，两温度

测量元件就有了温度差异，温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映，然后放大装置，以0－5V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下，热量会均匀的分散在每个温度元件中，随着流量的增加，流体带着

热量从上游（该处温度为T1）到达下游，则下游温度上升（该处温度为T2），不同的温

度上升通过两处元件显示，这种差异均衡的计量了气流或流速，电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制精确电磁阀。当设定值低于2％时，控制阀*关闭，控制阀由它的控制

电路控制能*打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号，然后控制精确电磁阀。当设定值低于2％时，

控制阀*关闭，控制阀由它的控制电路控制能*打开或关闭。

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器，忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

流量范围

相当于0－3 sccm到0－3000 sccm氮气（N2）的范围

在SEMI（半导体设备和材料协会）标准压力和温度（0oC和101kPa）条件下测得

注：满程流量范围大于50 sccm

性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。

可重复性：0.25％

控制范围：50：1

安装状态灵感度：复零后，比精确度误差不到±0.5％量程。

温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度

量程：比初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）

压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）

输出信号：输出0－5伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流（参考），大负荷2000欧姆

大操作压力：1500psig ;5-50psid压损（小压损根据气体和周围环境具体而定）

温度、外界/气体：41－149oF（5－65oC）

*泄漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）

           3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2.5slpm

           10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质：

标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接：

硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR

电气连接：卡连接器（镀金）或D型连接器（DA－15P）

·         数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器

·         介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体

·         流量范围:0.03-30slpm

·         量程比：50:1

·         大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)

·         气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG

·         电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge

·         精度:±1%FS

·         重复性：0.25% of rate

·         响应时间：1-3s

·         差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）

·         操作温度范围：5~65℃

·         输出信号：0-5VDC或4-20mA