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5863E BROOKS 5863E气体质量流量控制器 质量流量计

具体成交价以合同协议为准

2024-03-12西安市
型号
5863E
参数
材质:不锈钢 精度等级:0.1 适用介质:气体 款式:电子带数显 转换器形式:一体式 公称直径:3-6mm 压力范围:中压 工作压力:0-10Mpa 流量测速范围:0-2500SLPMkg/h 温度范围:中温 工作温度:0-65℃ 量程比:1:50 产地:进口 加工定制:否
西安欧润凯机电科技有限公司

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气体质量流量计,仪表管阀件
产品简介
BROOKS MFC 气体质量流量计
ODEL型号:5863E
GAS气体:N2
FLOW RANGE流量:2500SLPM
INPUT PRESSURE进口压力::0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口压力:0.1Mpa
O-RING SEAL 密封::Viton
FITTING气路接头::1/4“SWG
OUTPUT 信号输出:0-5V
Power电源:±15V
详细信息

5863E: Analog Thermal Mass Flow Meter, 100 - 1,000 slpm, Elastomer Seals

The Brooks Model 5863E elastomer sealed analog mass flow meter accurately measures gas flows of 100 - 1,000 slpm (Nitrogen). Brooks’ extremely stable flow sensor provides reliable, repeatable and accurate flow measurement even under varying process conditions. It eliminates the need for continuous monitoring and readjustment of gas pressures to provide a stable gas flow.


 

布鲁克斯模型5863E弹性体密封的模拟质量流量计精确测量气体流量10 - 1000 SLPM。布鲁克斯的极其稳定的流量传感器提供可靠,可重复和精确的流量测量,即使在不同的工艺条件。输出为0 - 5 VDC。

 

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产品参数

材质 不锈钢
精度等级 0.1
适用介质 气体
款式 电子带数显
转换器形式 一体式
公称直径 3-6mm
压力范围 中压
工作压力 0-10Mpa
流量测速范围 0-2500SLPMkg/h
温度范围 中温
工作温度 0-65℃
量程比 1:50
产地 进口
加工定制
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