芯明天直驱机构式压电纳米定位台特性

1~3维自由组合

大行程68μm

大承载5kg

重复定位精度可达0.05%F.S.

亚毫秒响应时间

1-3维平移台

XP-63X系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。多种规格型号可选。
柔性铰链采用精密线切割技术。

体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高

XP-63X系列压电纳米定位台特殊的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。

XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。

闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过 PID 算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。

芯明天直驱机构式压电纳米定位台应用实例

采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。