$item.Name

首页>流量仪表>流量计>质量流量计

参考价:

  • 面议
SLA5850S BROOKS布鲁克斯SLA5850S质量流量计

具体成交价以合同协议为准

2018-08-20西安市
型号
SLA5850S
参数
材质:不锈钢 适用介质:气体 产地:进口 加工定制:否
西安欧润凯机电科技有限公司

免费会员 代理商

该企业相似产品
气体质量流量计、卡套仪表管阀件、VCR洁净管阀件、PFA/PTFE化学品管阀配件、
产品简介
5861E质量流量计
5863E质量流量计
5853E质量流量控制器
5851E质量流量控制器
5850E质量流量控制器
SLA5850S质量流量控制器数字型
SLA5851S质量流量控制器数字型
SLA5853S质量流量控制器数字型
GF100特气质量流量控制器
详细信息

 

  • DeviceNet™RS-485 L-协议和模拟接口
  • 按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性
  • 表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥
  • MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作  不再需要拆除并校准 MFC
  • *零点稳定性,每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 稳定时间:500 ms - <1 
  • 满量程流速高达 300 slpm
  • 全金属密封流路: Ra 表面处理的流路
  • 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性
  • MultiFlo™ 气体和量程设定功能  一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求,无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
  • 本地显示屏
  • 可选 SDS 气体输送
  • DeviceNet™RS-485 L-协议和模拟接口
  • 半导体蚀刻工具
  • 薄膜化学气相沉积系统(CVDMOCVDPECVDALD
  • 物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 外延工艺系统
相关技术文章

同类产品推荐

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618

产品参数

材质 不锈钢
适用介质 气体
产地 进口
加工定制
提示

仪表网采购电话