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气路流量控制系统设备 流量显示器

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2024-03-12西安市
型号
参数
材质:不锈钢 精度等级:0.1 适用介质:气体 工作压力:0-10Mpa 电压等级:15-24VV 控制方式:手动 产地:进口 加工定制:否 质保:1年
西安欧润凯机电科技有限公司

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气体质量流量计,仪表管阀件
产品简介
气路流量控制系统设备

布鲁克斯/Brooks 气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业
详细信息

气路流量控制系统设备

 

•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。

气路流量控制系统设备

 

•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

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产品参数

材质 不锈钢
精度等级 0.1
适用介质 气体
工作压力 0-10Mpa
电压等级 15-24VV
控制方式 手动
产地 进口
加工定制
质保 1年
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