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小型单轴压电驱动器 光学表面分析仪

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2022-10-08上海市
型号
参数
适用行业:其他 产地:国产 加工定制:否
上海纳动纳米位移技术有限公司

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压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
产品简介
小型单轴压电驱动器是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电驱动原子力显微镜压电驱动和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电驱动和扫描探针压电驱动应用。
详细信息

   小型单轴压电驱动器是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电驱动原子力显微镜压电驱动和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电驱动和扫描探针压电驱动应用。

小型单轴压电驱动器应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用

 

特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
水平方向上扫描位移行程120µM
超高分辨率,为0.1nm
低成本
设计紧凑,重量轻,刚度高
是显微镜应用的理想单轴压电驱动器,Piezo Actuator
通用性强

 

 

产品规格
 运动特性
   主动轴       Z
    Z轴运动距离, µm        120
   分辨率(闭环)nm               1
   分辨率(开环),nm             0.1
 整范围内的角度倾斜,°             <0.01
 大扫描速度, Hz        10
 控制性能
 电容量,PF                            20
机械性能
    谐振频率的Z, kHz        3
    负载容量, g        100
     操作温度范围,°C        - 40…80
    尺寸,mm        30 x 30 x 22
     材料                        铝

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产品参数

适用行业 其他
产地 国产
加工定制
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