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超精密压电红外扫描器 内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且*通孔较大,可更好的集成于红外热成像扫描系统中。
应用:
原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接 纳米光刻
超精密压电红外扫描器特点:
1-3维运动
大运动范围370μm
一体式结构设计,多维运动无耦合
大透光孔径35mm
闭环精度可达0.15%F.S.
技术参数:
产型号 | PK2H52-012U | 公差 | |
运动自由度 | X、Y | - | |
传感器类型 | - | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 17 μm | ±20% | |
zui大行程范围(@-20~+150V) | 12 μm | ±20% | |
分辨率 | 0.1 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | typ. | |
线性度 | - | typ. | |
承载能力 | 2.5 N | Max. | |
刚度 | (X)1.5 N/μm、(Y)1.5 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | (X)1000 Hz、(Y)1000 Hz | ±20% |
静电容量 | 1.8 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围(*)1 | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m | ±10mm | |
中孔尺寸 | Ø25.5×23mm | - | |
外形尺寸(LxH) | 58×52×10 mm | - | |
重量 | 60 g | ±5% | |
本体材质2 | 铝(W) | - |
说明:1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用;*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。