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对193nm激光更高的吸收率*改进了所有材料的剥蚀效果,包括易碎和容易开裂的矿物。
· 光束通过具有的匀化器*匀化,结合*的光束传导系统,获得极为平坦的剥蚀坑。所有剥蚀尺寸下,具有恒定能量密度。
· 精确的剥蚀深度和小到1μm的剥蚀坑,使其成为非常理想的包裹体和薄膜类样品的分析工具。
· 产生更加细小的剥蚀颗粒,提高气溶胶传输效率,并zui大程度减小颗粒的沉积。
· 全自动激光剥蚀软件,包括用于样品导航的广角视野触摸屏幕。
可选附件:
· 150mm 超大LFC样品室
· 多种可供选择的样品室
· 多路质量流量控制器
· 用户定制的样品承载件