零气流量:0L/min~10L/min
零气压力:通常200kPa
水 蒸 气:露点-15℃
空气净化器:可除NO、NO2、O3、SO2、CO
零气组份:
SO2:<0.5ppb
NO:<0.5ppb
NO2:<0.5ppb
O3: <1.0ppb
CO:<10ppb
除水方式:自动
保 护:过热保护泵
工作环境温度:0℃~40℃
零气流量:0L/min~10L/min
零气压力:通常200kPa
水 蒸 气:露点-15℃
空气净化器:可除NO、NO2、O3、SO2、CO
零气组份:
SO2:<0.5ppb
NO:<0.5ppb
NO2:<0.5ppb
O3: <1.0ppb
CO:<10ppb
除水方式:自动
保 护:过热保护泵
工作环境温度:0℃~40℃