电感耦合等离子体质谱仪以离子源、质量剖析器和离子检测器为中心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的设备。离子源腔体和取样锥孔、挡盖用无尘纸和50%甲醇水清洗，一般一周一次。
前级机械泵随着样品的检测会有有机溶剂进入到泵中，需要定期打开震气阀震气20min左右，震气时间不能太长，太长会导致泵油消耗过快。根据检测量来调整震气的频率，一般建议一周一次。
机械泵的泵油需要定期更换，一般半年更换一次，如果泵油看起来很脏，需要提前更换。更换泵油的时候需要将泵油全部倒出，再更换新的泵油，不同品牌的泵油不能混用。一般实验室的电感耦合等离子体质谱仪都会在长假的时候进行大的维护。
一般日常维护除了更换泵油之外，都是不需要卸真空的状态下进行的，质谱内部的清理和维护一般比较少做到，建议交给维修工程师来做，内部金属件可以用氧化铝粉来打磨，其他组件注意不要碰到有机试剂，尤其是密封圈之类的。
在使用电感耦合等离子体质谱仪前请确认并检查以下条件:
1.常规ESI源已安装完毕。
2.仪器已经正确安装并且经过厂商工程师的检测。
3.质谱仪属于精密贵重仪器,未经专门培训人员不得擅自开启使用,更不得随意“调校”氮气和氦气压力或更改仪器参数等。
4.检查液氮罐和氦气钢瓶是否有一定压力,以便为测试样品提供符合流速和压力要求的氮气和氦气。
5.电感耦合等离子体质谱仪样品溶液必须澄清透明,不含有固体微粒,不得将粗提物直接用于测定，以免堵塞喷雾针或者污染毛细管。测试用的液相溶剂体系不得含有不挥发性的酸、碱、盐。
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