Inficon/英福康 品牌
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深圳市所在地
INFICON真空计控制器
面议真空计控制器(大气压至中真空被动测量)
面议皮拉尼真空计显示器
面议真空计控制器
面议Granville-Phillips新型真空计
面议Granville-Phillips Micro-lon®ATM模块
面议Granville-Phillips392系列Micro-lon Plus
面议Granville-Phillips356 Micro-lon Plus
面议Granville-Phillips系列385 Convectron ATM模块(GP 385型真空
面议Granville-Phillips系列275 Mini-Convection 模块(GP 275型
面议Granville-Phillips系列354型
面议Granville-Phillps系列347Stabil-lon模块
面议英福康复合真空计的优点好处
从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
英福康复合真空计的典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制