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湿式化学SC-1过程中,在线浓度分析仪

具体成交价以合同协议为准

2024-02-26上海市
型号
参数
品牌:Emc 测试范围:0.00-100.00 重量:15kg 测量时间:250mss 电源电压:220V 准确度:0.1% 分辨率:0.01%pH
上海京度电子科技有限公司

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在线浓度仪 锤度计 硫酸浓度仪
产品简介
H2SO4/H2O2(Piranha Clean, Caro Clean):
利用硫酸及双氧水的强氧化性和脱水性破坏有机物的碳氢键,去除有机不纯物。
H2SO4:H2O2=2~4:1,在130度高温下进行10~15分钟的浸泡。
详细信息

洗净用高纯度湿式化学品

HCl/H2O2/H2O(SC2):

利用双氧水氧化污染的金属,而HCL与金属离子生成可溶性的氯化物而溶解。

HCl:H2O2:H2O=1:1:6,在70度下进行5~10分钟的清洗;

SC1、SC2标准溶液都属于RCA制程

 H2SO4/H2O2(Piranha Clean, Caro Clean):

利用硫酸及双氧水的强氧化性和脱水性破坏有机物的碳氢键,去除有机不纯物。

H2SO4:H2O2=2~4:1,在130度高温下进行10~15分钟的浸泡。

 

光刻用高纯度湿式化学品

光阻-树脂、感光剂、溶剂

光阻稀释液-PGMEA PGME,清除晶圆残余光阻

显影剂-TMAH TEAH

 

美国EMC公司成立于1946年,作为一家高科技公司,从成立至今,EMC一直专业从事在线硫酸浓度仪的研究开发和制造工作,产品广泛应用于半导体行业。1952年,EMC推出自己的*台在线临界角TMAH浓度仪,用于检测TMAH溶液浓度。MPR E-Scan是EMC推出的TMAH在线浓度仪,因为采用临界角测量的技术,它非常适合于各类化工液体产品如TMAH、TMACL、H2SO4、H2O2、氨水等的过程浓度测试。因为具有丰富多样的安装适配器,MPR E-Scan适合于安装于几乎任何场所。

MPR E-Scan是一个微处理器驱动的临界角浓度仪,因为采用分体式设计,将仪器CPU和主要电路板与光学部分分离,使系统更耐高温和振动、稳定性更好、测试更准确、有效使用寿命更长。它能在即时显示产品浓度值的同时,将该浓度值传输到系统,便于系统集成控制。

临界角在线TMAH浓度仪 MPR E-Scan能直接安装在管道或者容器上,进行浓度的测量和控制。它能直接显示出:质量百分比浓度(Percent)、固形物含量(Solids)或(R.I.)等。它的高可靠性和高精度能为用户的过程控制直接创造价值。

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产品参数

品牌 Emc
测试范围 0.00-100.00
重量 15kg
测量时间 250mss
电源电压 220V
准确度 0.1%
分辨率 0.01%pH
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