智能动态配气系统SSGM-3：由3个高压流量控制器，适用惰性气体以及腐蚀性气体（可选全金属密封）；流量范围0~500毫升每分钟；耐压程度：5MPa（可选10Mpa）；精度等级：±1%F.S；可用于氮气、氦气、氩气等惰性气体，也可用于甲烷、烃类等可燃气体；设备里面采用高效混气罐，混气浓度均匀、平稳、高效、快速、精确地混合配比多种气体；各路MFC控制重复性精度高达±0.5%F.S；稀释比范围宽，从PPB级别到PPM级别到%。

   智能动态配气系统SSGM-3：气体混合配比不限气体种类和数量，内置精密阀门，能有效过滤气体中的杂质以及防止气体相互干扰，且可根据气体的入口压力来调整后端的气体背压情况。SSGM系列的动态配气装置稳定性好，不受温度和压力的影响，本装置配气稳定性好，精确度高，配制值与实测值相符。SSGM系列的动态配气装置采用智能控制系统，可通过软件进行配气浓度和气体选择，预留物联网模块接口，可拓展联网功能，提供USB接口，预留数据通讯信号，可与其他设备相连接